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美国AMC伺服驱动器单晶炉行业应用
单晶炉的定义 单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备
单晶炉的定义 单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备

单晶炉的构成
提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成
副室:主要是副室筒以及上下法兰组成
炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成
炉筒:包括取光孔
下炉筒:包括抽真空管道
底座机架:全铸铁机架和底座
坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成
分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等
氩气管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件
真空泵已经真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等
电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线
美国AMC模拟量有刷伺服驱动器12A8在单晶炉行业应用
应用部位: 1. 单晶炉坩埚升降与旋转系统 2.籽晶升降与旋转系统
技术特点: 1.速度平稳,定位精确 2.20-80VDC,测速电机反馈 3.±10V模拟量信号输入 4.可配套三洋SANYO及国产200W/300W电机
